¿Cuáles son los efectos del grosor de la capa de óxido en el MOSFET?

Como el voltaje umbral (Vth) de un mosfet depende inversamente de la capacitancia en la capa de óxido (entre la puerta y el sustrato) Cox,

pero como Cox mismo se reduce al aumentar el espesor de la capa de óxido (Tox)

Desde entonces, Cox = € ox / Tox

entonces el voltaje umbral de mosfet aumenta al aumentar el espesor de la capa de óxido.

Significa que el voltaje umbral de mosfet es drásticamente propotional al espesor de la capa de óxido.

  1. El voltaje de umbral y el voltaje de ruptura dependen de esto, si se necesita una tensión de ruptura alta, debemos mantener la capa de óxido gruesa, pero el voltaje umbral será mayor en este caso.